四(甲乙氨基)铪
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)CAS NO:
352535-01-4分 子 量:
410.8993EC NO:
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暂无数据结 构 式:
中文名：四(甲乙基氨基)铪(IV)
外文名：Tetrakis (ethylmethylamino) hafnium (IV）
化学式：Hf[N(CH3)(C2H5)]4
分子量：410.9
CAS号：352535-01-4
熔点：<-50 °C
沸点：78 °C
闪点: ：52 °F
密度：1.324 g/mL at 25 °C(lit.)
外观：无色至黄色液体
存储条件：2-8°C
| 品名: | 四(甲乙氨基)铪 |
|---|---|
| 用途: | 四(甲乙基氨基)铪(IV)在薄膜沉积领域可作为CVD、ALD的主要原材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜，可以用于COMS和下一代DRAM的高k绝缘材料；应用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)；应用于铁电存储器件(FeRAM)、铁电场效应晶体管(FeFET)、铁电负电容晶体管(NC-FET)、铁电隧道结等新功能器件；替代二氧化硅，作为金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的栅极。 |
| 别名 | 四(乙基甲基胺基)铪(IV);四(甲乙氨基)铪 |